装置紹介光学検査装置 AOI(パターン検査装置) > TAB&COF Roll to Roll AOI

Automatic Optical Inspection Machine(光学検査装置)

AOI TAB & COF Roll to Roll

  • 世界最多の導入実績 (ロールToロールAOI)
  • 20μmピッチのファインパターン検査(分解能1.5μm)
  • 柔軟なベリファイシステム(オンライン/オフライン及びNGパンチ
  • 広幅製品への対応可能(158㎜、260㎜、300㎜)
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検査対象 メッキ領域、インナーリード
製品幅 360mmまで
厚み 30um~150um
ロール寸法 Φ550まで(2リールもしくは4リール)

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